AERES

高级过程控制软件

凭借25年的丰富经验帮助我们的合作伙伴实现其工艺要求,我们创建了Aeres,这是一个解决薄膜沉积技术众所周知的限制的软件平台。 当Aeres与我们的PVD平台合作时,您将拥有一个智能工具,可为您节省大量时间,精力和资源。


对于最先进的用户和复杂的录音带来的强大的能力。 简单地为每个用户在实验室

层次转换效率


由于Aeres并行管理任务的能力,设备总时间大大减少

并行任务管理是后台处理的自动和同时控制,包括源准备,掩模和样品转移,功率和温度斜坡以及阶段准备

我们的合作伙伴报告过渡时间减少45%,整个设备制造时间提高30%,如下所示


预沉积 - 晶片准备,源上升和稳定

层控制 - 厚度,速率,快门和源空闲

舞台控制 - 加热,冷却,旋转,角度和偏置

气体和压力 - 压力稳定性和精确的气体输送

自动化 - 按启动,使系统执行流程运行的所有方面,具有精确的重复性


RECIPE控制


你的过程的每一个方面; 一个统一的食谱


根据需要创建简单或复杂的过程

使用加载的模板来使用,或从头构建自定义序列

从远程PC构建配方,然后将配方无缝传输到沉积系统PC以供使用

Aeres可以完全自主运行,或者您可以根据需要构建手动控制到食谱

统一的数据管理系统收集并记录所有相关的流程信息


高级沉积控制


Aeres允许我们的合作伙伴实现令人印象深刻的低速率稳定性

用户可调PID检测算法(自整定)

无需手动调整PID值或花费时间进行模拟运行

显着降低了流程开发时间


实际稳定性,同时沉积普通OLED材料(Alq3),每秒0.02埃

AERES增强您的设备

所有的功能标准

建立在.NET基础架构上,并准备好SECS / GEM

一旦配方发送到PLC,安全联锁,真空操作,胶片生长和晶片操作都由控制器排除,无论PC是连接还是运行

在Windows®PC上运行,具有触摸屏兼容性

完整和彻底测试安全和互锁系统

统一的数据管理系统收集并记录所有相关的流程信息

单个终端可以控制多个房间,每个房间都有独特的配方

来自Angstrom工程团队的全过程,培训和故障排除支持


与他们的客户的服务水平和连接性,一天中的任何时间回答你的电子邮件,帮助你从远方拍摄麻烦,超出了我以前见过的。 这种互动使得我成为一个难以置信的客户。


凯西史密斯博士 - 德克萨斯州立大学


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