COVAP PVD平台

Covap系列为许多工艺应用提供了紧凑,经济,但仍然强大的解决方案。 专为实验室设计,需要一个安全可靠的工具,可在紧凑的占地面积中生产可重复的高品质薄膜

过程模块选项


沉积源之间是相互隔离的,以减少热影响和交叉污染。 它配备了一整套可拆卸的腔室内屏蔽罩,使室内容易清洁和维护。 腔室打开时会切断气压及电源,确保了最高的安全等级。 它可以集成到手套箱中或在独立配置中选择。


小但很强大

矩形腔室,取放样品无障碍

材料和样品即使在手套箱中也可以轻松安装取放

Covap提供无障碍通道,用于去除屏幕,清洁和准备系统以进行下一次运行

可以与手套箱整合

紧凑型:系统占地面积600mm x 1000mm

可选择2或4个源配置

程序高级多层控制

顺序或共沉积

样品台支持最大Φ100mm的基板

全套系统培训

QCM传感器相互间隔离,以确保没有相邻源材料的干扰

涡轮分子泵提供的高真空度

2年保修期内业内最具响应能力的支持团队


我们为您的沉积系统提供完整的零件和材料支持。 点击视频了解更多

点击点击这里下载Covap PDF手册

过程模块选项

可容易地安装高达Φ100 mm 的基板尺寸

腔室可容纳2或4个热阻源


在我使用的所有系统中,Angstrom的是最可靠,一致和易于使用的系统。


马克·巴尔多博士 - 麻省理工学院


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