电子束蒸发

具有电子束蒸发的埃斯特工程系统由我们的客户使用以沉积各种材料。 这些材料中的一些包括作为太阳能电池应用中的电接触的金,用于光学膜的二氧化硅,以及许多其它材料。 我们可以创建定制工具,将电子束源与其他类型的沉积方法集成,以满足您的处理需求。

电子束(或电子束)蒸发是强大的物理气相沉积过程,允许用户蒸发难以甚至不可能使用标准电阻热蒸发处理的材料。 这些材料中的一些包括高温材料如金和钛,以及一些陶瓷如二氧化硅和氧化铝。

为了产生电子束,对经受高电场的灯丝施加电流。 该场导致细丝中的电子逃逸并加速离开。 然后电子被磁体聚焦以形成梁,然后将其引向包含感兴趣材料的坩埚。 电子束的能量转移到材料中,使其开始蒸发。 许多金属,如铝,将首先融化,然后开始蒸发,而陶瓷将升华。 然后,材料蒸气从坩埚中出来并涂覆基材。

如果需要,可以向电子束添加可编程扫描,以允许定制加热坩埚中的材料。 尽管一些材料,如铝,可以容易地从电阻源蒸发,电子束蒸发源允许沉积更大量的材料,并且可以实现更高的速率。 在蒸发过程中,将坩埚放置在水冷铜炉底中,这样可以增加坩埚寿命。 此外,如果多个材料需要顺序沉积而不破坏真空,我们的电子束源可以配备多个口袋的转盘。

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