恩布拉系列

Angstrom的自动化,工程精准,用户控制和与您,我们的合作伙伴的合作的顶峰。 这些集成真空系统专为满足客户的工艺要求而设计。 客户选择真空模块的数量和类型,为未来的扩张潜力提供空间。

过程模块选项


我们与您一起梦想,确定将潜在创新融入现实的模块。 PVD,CVD,ALD,掩蔽和停车转移,加热/冷却阶段,有助于清洁的源,可变角度沉积和当前技术允许的其他任何技术。 连接所有内容的集中式机器人集线器,全部由我们集成且易于使用的配方驱动软件控制。


限制:没有任何

使用等离子体或离子束源的基板清洁和制备

多个真空沉积模块可用于PVD,CVD和ALD

手套箱环境可以集成到一个或多个模块中

基材和面膜储存盒可以根据需要容纳25个或更多的样品盘

使用SCARA机器人的分发模块的大小适合您的要求

基板尺寸/贯穿


基材尺寸可达200 mm x 200 mm,可轻松容纳,如果需要,可将模块设计用于较大基材

吞吐量取决于过程持续时间和复杂程度。 然而,AERES软件平台可优化层间转换,从而缩短整个处理时间

AERES高级过程控制软件


易于使用的高级集成软件平台

PC / PLC控制的单,批或自动过程的配方

高级数据记录和过程跟踪确保一致和可重复的过程

高分辨率控制提供令人印象深刻的低速率稳定性和一致的掺杂比

中央控制站管理每个模块并安排每个舱室的过程

独立控制多个室

复杂的食谱可以轻松创建和修改

自动PID控制回路调整可显着缩短过程开发时间


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从实际出货的时间开始,这个实验室系统几乎完美无缺,可以说是将我们的能力扩展到世界上任何有机薄膜实验室目前可以实现的能力之上。 我将整个系统的成功归功于卓越的工程设计,以及Angstrom团队的合作性,在采用我们最好的设计并使其在系统构建过程中更好。


密歇根大学Stephen Forrest博士


这个短视频展示了星云集群系统的行动

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