发光薄膜控制

Apex可以与许多PVD平台配合使用,可以实现光学监控和无缝过程控制。

从配方制作到影片的最终制作,Apex可以完全简单地控制您的光学胶片。 30个可见光盘存储在自动芯片更换器中,用于实现数据反馈,您可以使用可以生成350-2500纳米波长的PC控制单色仪来确认您的胶片。

一个强大的工具,同时具有光学监测和沉积控制的所有方面

每一个光学性能必需的组件

系统和软件与The Essential Macleod软件包一起工作

End Hall离子源

带芯片更换器的透射模式光接收器

带单色仪的光发射机

反射模式光接收机

空心阴极电子源

所有来源和阶段选项

AERES高级过程控制软件

易于使用的高级集成软件平台

PC / PLC控制的单,批或自动过程的配方

高级数据记录和过程跟踪确保一致和可重复的过程

高分辨率控制提供令人印象深刻的低速率稳定性和一致的掺杂比

中央控制站管理每个模块并安排每个舱室的过程

独立控制多个室(适用于集群或连接配置)

复杂的食谱可以轻松创建和修改

自动PID控制回路调整可显着缩短过程开发时间

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