NEXDEP PVD平台

这个PVD平台提供经济性和多功能性之间的平衡。 它可以配备最强大的流程增强功能,而无需占用实验室或您的预算中的所有房间

基板固定和屏蔽选项


您的Nexdep拥有400mm x 400mm的底板,可容纳多达8个来源和各种PVD工艺。 您的研究目标,生产要求和/或应用程序的最终目标将告诉您如何装备您的Nexdep。 我们共同合作,设计出完全符合您要求的系统。


一个紧凑,经济,全面的PVD工作

这个视频概述了一个实例,我们与合作伙伴密切合作,提供一个独特的流程解决方案

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我们的Angstrom系统大大增加了我们的有机光伏器件制造工艺的可重复性,并为整个开发新器件提供了灵活而强大的系统。


博士Sean Shaheen博士 - 科罗拉多大学


溅射

RF,DC,脉冲DC和HiPIM

圆形,线性和圆柱形阴极可用



沉积源选项

电子束蒸发

各种源电源和电源选项

可编程扫描控制器配方存储





电子束蒸发

各种源电源和电源选项

可编程扫描控制器配方存储

扭矩传感坩埚分度器检测到卡纸

房间内有多个电子束源






等离子和离子束加工

用于清洁和电影增强的离子源范围

辉光放电等离子体清洗







加热和冷却阶段

可变角度阶段

滚动加工

加载锁

掩蔽/基板自动传送

行货运动

AERES高级过程控制软件


易于使用的高级集成软件平台


PC / PLC控制的单,批或自动过程的配方


高级数据记录和过程跟踪确保一致和可重复的过程



高分辨率控制提供令人印象深刻的低速率稳定性和一致的掺杂比



中央控制站管理每个模块并安排每个舱室的过程



独立控制多个室(如果适用)




复杂的食谱可以轻松创建和修改






自动PID控制回路调整可显着缩短过程开发时间






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