线性爆炸物

该系列系统允许在大型基板上生产高产量,可以无缝集成到更大的生产工具集群中,并提供令人印象深刻的均匀性。

在非常大的基板上创建设备,在一个单一的运行中堆叠多层,均匀性很好。 即使目标比通常大,材料也被非常有效地利用。


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易于使用的高级集成软件平台


PC / PLC控制的单,批或自动过程的配方


高级数据记录和过程跟踪确保一致和可重复的过程



高分辨率控制提供令人印象深刻的低速率稳定性和一致的掺杂比



中央控制站管理每个模块并安排每个舱室的过程



独立控制多个室(如果适用)




复杂的食谱可以轻松创建和修改






自动PID控制回路调整可显着缩短过程开发时间






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